特許

J-GLOBAL ID：201103066864680210

帯電粒子検出装置

発明者： 林 靖
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (3件)： 伊藤 洋二 ,  三浦 高広 ,  水野 史博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-170014
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365200
特許番号：特許第4461643号
出願日： 2001年06月05日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体基板(2)と、 半導体基板の表層部において互いに離間するように形成されたソース領域(3)およびドレイン領域(4)と、 前記ソース領域と前記ドレイン領域との間をチャネルとすると、該チャネルの上に外気に触れる露出部分が備えられて形成された浮遊ゲート(6)と、 前記浮遊ゲートの電位を制御するコントロールゲート(8)と、 前記浮遊ゲートと前記コントロールゲートとの間に配置されたトンネル膜(7)とを備えていることを特徴とする帯電粒子検出装置。

IPC (4件)：

G01N 15/06 ( 200 6.01) ,  G01N 27/60 ( 200 6.01) ,  G01N 27/414 ( 200 6.01) ,  G01N 27/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01N 15/06 E ,  G01N 27/60 B ,  G01N 27/30 301 V ,  G01N 27/00 J