特許
J-GLOBAL ID：201103067367134012
形状測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-105631
公開番号（公開出願番号）：特開平2-284017
特許番号：特許第2504561号
出願日： 1989年04月25日
公開日（公表日）： 1990年11月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】センサ本体およびセンサ本体からばねで突出される測定子を有し、この測定子の前記ばねによる突出方向の変位を検出する第1のセンサと、前記ばねによる突出方向と直交する第1の軸を中心として前記第1のセンサを回動可能に保持するアーム部と、前記第1の軸を含む第1の面と直交するように設定された第2の軸を中心として前記アーム部を回動可能に保持するアーム保持部と、前記第2の軸を含む第2の面内における前記アーム保持部の位置を調整する位置調整機構と、前記第1のセンサの前記第1の軸を中心とした回転角変位を検出する第2のセンサと、前記位置調整機構による前記アーム保持部の位置調整量を検出する第3のセンサと、前記第1のセンサが検出した変位を表示する第1の表示器と、互いに直交する二つの座標軸のうち一方の座標軸が前記第1のセンサにて検出された変位を表し、他方の座標軸が前記第2のセンサにて検出された変位を表すグラフ形式で被測定面のうねりを記録する記録計と、前記第3のセンサにて検出された値を表示する第2の表示器と、を具備することを特徴とする形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 21/30 101
, G01B 21/30 102
, F16C 33/58
G01B 21/30 101 Z
, G01B 21/30 102
, F16C 33/58
