特許

J-GLOBAL ID：201103067477470913

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者： 名取 美智子 ,  日高 敬浩
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-071064
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255650
特許番号：特許第4051594号
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(A)バインダーポリマー、 (B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び (C1)一般式(I) (一般式(I)中、R1、R2、R3及びR4は、各々独立に、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシル基又は炭素数6〜14のアリール基を示し、R5及びR6は、各々独立に、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数1〜12のアルコキシル基を示し、R7、R8、R9及びR10は、各々独立に、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数6〜14のアリール基又は炭素数7〜11のアリールアルキル基を示し、nは、0〜5の整数であり、mは、0〜4の整数である) で表されるビススルホニウムボレート化合物 を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/029 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  G03F 7/027 ( 200 6.01) ,  G03F 7/031 ( 200 6.01) ,  H05K 3/06 ( 200 6.01) ,  H05K 3/18 ( 200 6.01)

FI (6件)：

G03F 7/029 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ネガ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-121021   出願人：東洋インキ製造株式会社
• 感エネルギー線酸発生剤、感エネルギー線酸発生剤組成物および硬化性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-342492   出願人：東洋インキ製造株式会社