特許
J-GLOBAL ID：201103067730566574
欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 隆男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-193764
公開番号（公開出願番号）：特開平3-057945
特許番号：特許第2814390号
出願日： 1989年07月26日
公開日（公表日）： 1991年03月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】光透過性の平坦物体を照明し、該平坦物体の表裏面に存在する異物等の欠陥を検査する装置において、所定の波長帯域に渡って強度分布を有する多色光を、前記平坦物体のいずれか一方の面に向けて照射する照射手段と;前記多色光の照射によって前記欠陥で生ずる散乱光を波長選択素子により特定の波長域に分けて受光する複数の光電検出器と;該複数の光電検出器の夫々から出力される信号の大きさの比較に基づいて、前記欠陥が前記平坦物体の表裏面のどちらかに存在するかを判定する判定手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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