感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野口恭弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-213351
公開番号（公開出願番号）：特開2011-209681
出願日： 2010年09月24日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】耐溶剤性及び耐熱透明性に優れる硬化膜が得られ、高い感度を有するとともに、露光量の変化に対するパターン形状の変化が小さい感光性樹脂組成物、硬化膜及びその製造方法、有機EL表示装置、並びに、液晶表示装置を提供すること。【解決手段】(A)酸によりカルボキシ基を生成する式(Ia)で表される構造又は酸によりフェノール性水酸基を生成する式(Ib)で表される構造を有するモノマー単位(a1)、酸によりカルボキシ基を生成する式(IIa)で表される構造又は酸によりフェノール性水酸基を生成する式(IIb)で表される構造を有するモノマー単位(a2)、並びに、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有するモノマー単位(a3)、を含有する重合体、(B)光酸発生剤、並びに、(C)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)酸によりカルボキシ基を生成する式(Ia)で表される構造又は酸によりフェノール性水酸基を生成する式(Ib)で表される構造を有するモノマー単位(a1)、酸によりカルボキシ基を生成する式(IIa)で表される構造又は酸によりフェノール性水酸基を生成する式(IIb)で表される構造を有するモノマー単位(a2)、並びに、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有するモノマー単位(a3)、を含有する重合体、 (B)光酸発生剤、並びに、 (C)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 , G03F 7/40 , H05B 33/10 , H05B 33/22 , H01L 51/50 , H01L 21/027 , C08F 220/18

FI (9件)：

G03F7/039 601 , G03F7/004 503A , G03F7/40 501 , G03F7/004 501 , H05B33/10 , H05B33/22 Z , H05B33/14 A , H01L21/30 502R , C08F220/18

Fターム (78件)：

2H096AA27 , 2H096AA28 , 2H096BA11 , 2H096EA02 , 2H096HA01 , 2H125AE03P , 2H125AE13P , 2H125AE15P , 2H125AE18P , 2H125AF20P , 2H125AF21P , 2H125AF35P , 2H125AF52P , 2H125AH05 , 2H125AH06 , 2H125AH12 , 2H125AJ12X , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ44Y , 2H125AJ54X , 2H125AJ63X , 2H125AJ63Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ64Y , 2H125AJ70X , 2H125AM26P , 2H125AM27P , 2H125AN23P , 2H125AN29P , 2H125AN36P , 2H125AN39P , 2H125AN82P , 2H125AN86P , 2H125BA01P , 2H125BA05P , 2H125BA09P , 2H125BA11P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA11 , 2H125CA22 , 2H125CA24 , 2H125CB02 , 2H125CB06 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC05 , 3K107CC22 , 3K107CC24 , 3K107CC45 , 3K107DD89 , 3K107DD90 , 3K107DD91 , 3K107DD97 , 3K107GG06 , 3K107GG11 , 3K107GG28 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL10R , 4J100BA02P , 4J100BA04Q , 4J100BA05P , 4J100BC04P , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100BC54R , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100DA28 , 4J100JA37

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