特許
J-GLOBAL ID：201103068002698711
FZ法単結晶育成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-370071
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181086
特許番号：特許第3758440号
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも多結晶セットチャンバ、ゾーニングチャンバおよび単結晶取出しチャンバを具備するフローティングゾーン法(FZ法)による単結晶育成装置において、チャンバに近接して設ける作業用フロアを、少なくとも多結晶セット用、ゾーニング用および単結晶取出し用の各チャンバの開口部を設けた作業面に対応する位置に三箇所設けることを特徴とするFZ法単結晶育成装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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