膜形成装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：金本哲男 , 亀谷美明 , 萩原康司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-382459
公開番号（公開出願番号）：特開2001-232268
特許番号：特許第4330788号
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】塗布液吐出手段から基板に塗布液を供給してこの基板上に膜を形成する装置であって, 前記塗布液吐出手段を移動させる移動手段を備え, 前記移動手段は,前記塗布液吐出手段を支持する支持部材と,前記支持部材を移動させる移動機構と,前記支持部材に形成された軸受部を通るガイド軸と,前記軸受部と前記ガイド軸の隙間に,気体を供給する気体供給機構とを備え, 前記移動機構を覆うカバーが設けられ, 前記カバーに,カバー内の雰囲気を排気する排気口が形成され, 前記移動機構は,前記支持部材が取り付けられた駆動ベルトと,前記駆動ベルトが巻回された駆動プーリ及び従動プーリとを備え,前記駆動ベルトと,前記駆動プーリと,前記従動プーリとが,前記カバー内に配置され, 前記巻回された駆動ベルトの内側であって,前記駆動プーリと前記従動プーリとの間に,前記駆動ベルトに取り付けられた前記支持部材の移動方向に沿って延伸する仕切部材が設けられていることを特徴とする,膜形成装置。

IPC (3件)：

B05C 5/00 ( 200 6.01) , G03F 7/16 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B05C 5/00 101 , G03F 7/16 501 , H01L 21/30 564 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

重合体肉厚フィルム押出し装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-179694 出願人：株式会社ソフィアシステムズ
特開昭62-180115
特開昭62-180115

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