特許
J-GLOBAL ID：201103068213756661
多色表示装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-018938
公開番号（公開出願番号）：特開平2-198419
特許番号：特許第2744950号
出願日： 1989年01月27日
公開日（公表日）： 1990年08月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】カラーフィルタを用いた多色表示装置の製造方法において、基板上に有機高分子と色素からなるカラーフィルターを形成する工程と、イオンプレーティング法によりカラーフィルター上に透明導電膜を形成する工程と、前記透明導電膜をフォトリソグラフィー法によりパターニングして透明電極とする工程と、を含むとともに、前記イオンプレーティング法が、前記基板を真空容器内で減圧する工程と、プラズマビームを磁場により収束させ、酸化インジウム、酸化スズに照射することにより高エネルギーのイオン化粒子にする工程と、高エネルギーにイオン化粒子となった酸化インジウム、酸化スズに酸素を反応させながら基板上に堆積させる工程と、を含むことを特徴とする多色表示装置の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/1335 505
, G02F 1/13 101
G02F 1/1335 505
, G02F 1/13 101
