特許

J-GLOBAL ID：201103068256723830

圧電素子ダイアフラムの保持構造

発明者： 谷村 嘉彦 ,  桐谷 靖彦 ,  高橋 晃
出願人/特許権者： 三菱自動車工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-084002
公開番号（公開出願番号）：特開平2-263131
出願日： 1989年04月04日
公開日（公表日）： 1990年10月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上下面に作用する圧力差によって変位する圧電素子ダイアフラムを該圧電素子ダイアフラムに圧縮力を作用させた状態で外力吸収材を介して基板に固定したことを特徴とする圧電素子ダイアフラムの保持構造。

IPC (1件)：

G01L 9/08