特許

J-GLOBAL ID：201103068289211257

テスト・チャンバ

発明者： ベイカー, ピーター ディ ,  ウィーンマン, ロバート・エイチ ,  メルカード, ロバート ,  ネセルロード, クリストファー・ダブリュ ,  ベイカー, ルーシー・エイ ,  バスティーン, ギルバート・ジェイ
出願人/特許権者： スクリーニング・システムズ・インコーポレーテッド
代理人 (5件)： 山川 政樹 ,  黒川 弘朗 ,  紺野 正幸 ,  西山 修 ,  山川 茂樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-247638
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083218
特許番号：特許第3553863号
出願日： 2000年08月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】内部チャンバを含んでいるハウジングと、前記内部チャンバへの立ち入りを行わせるドアであって、温度の変化に応答して動く内壁と外壁を有し、この外壁がある直径のクリアランス・ホールを有する前記ドアと、前記内壁に取り付けられて前記内壁を前記外壁に押し付け、前記クリアランス・ホールの直径よりも小さい直径を有する固定具とを備え、前記外壁が前記固定具および前記内壁と相対運動し得るテスト・チャンバ。

IPC (3件)：

G01R 31/30 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

G01R 31/30 ,  G01R 31/26 H ,  G01R 31/28 H