特許
J-GLOBAL ID:201103068801522677

電位波形観測システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 詔男 (外3名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-013575
公開番号(公開出願番号):特開2000-216206
特許番号:特許第3196751号
出願日: 1999年01月21日
公開日(公表日): 2000年08月04日
請求項(抜粋):
【請求項1】 各レイヤの配線データの中から、最上層の配線データのみを抽出する最上層配線抽出手段と、前記最上層配線抽出手段により抽出された最上層配線に隣接する隣接最上層配線の配線データを抽出する隣接配線抽出手段と、前記最上層配線抽出手段により抽出された最上層配線の座標データと、前記隣接配線抽出手段により抽出された隣接最上層配線の座標データとを比較し、これら最上層配線の座標データと隣接最上層配線の座標データとの関係に基づき、注目する最上層配線における電位波形の観測可能な領域を抽出する比較演算手段と、前記比較演算手段により抽出された観測可能領域の中から最大となる領域の座標データを抽出する観測ポイント抽出手段と、前記観測ポイント抽出手段により抽出された観測可能領域を画面中央に表示するレイアウト表示手段とを具備することを特徴とする電位波形観測システム。
IPC (1件):
H01L 21/66
FI (1件):
H01L 21/66 Z

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