特許

J-GLOBAL ID：201103068872198366

液体噴射ヘッドの製造方法

発明者： 三井 宏之
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-077506
公開番号（公開出願番号）：特開2011-207072
出願日： 2010年03月30日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】接着剤溜まりの形成を抑制して歩留まりの向上を図ることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】第1のウエハー110上に圧力発生素子300を形成する工程と、第2のウエハー130に第1のウエハー110を接着剤35によって接合して接合体250を形成する工程と、第1のウエハー110をウェットエッチングすることにより圧力発生室12等の流路を形成する工程と、接合体250をサイズの複数のチップに分割する工程と、を備えると共に、接合体250を形成する工程の前に、第1又は第2のウエハー110,130の少なくとも何れか一方の他方との接合面の外周部に接着剤35の余剰分が流れ込む凹部を形成する工程を備えるようにする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室が形成される第1の基板と、該第1の基板 の一方面側に設けられて前記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生素子と、前記第1の 基板の前記一方面側に接合された第2の基板とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であ って、 前記第1の基板が複数一体的に形成される第1のウエハー上に前記圧力発生素子を形成 する工程と、 前記第2の基板が複数一体的に形成される第2のウエハーに前記第1のウエハーを接着 剤によって接合して接合体を形成する工程と、 前記第1のウエハーをウェットエッチングすることにより前記圧力発生室を形成する工 程と、 前記接合体を所定サイズの複数のチップに分割する工程と、を備えると共に、 且つ前記接合体を形成する工程の前に、 前記第1又は第2のウエハーの少なくとも何れか一方の他方との接合面の外周部に前記 接着剤の余剰分が流れ込む凹部を形成する工程を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド の製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

B41J3/04 103H ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 J

Fターム (7件)：

2C057AF93 ,  2C057AG75 ,  2C057AG85 ,  2C057AP22 ,  2C057AP25 ,  2C057AP33 ,  2C057AQ02