ウェーハ研削装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-157919
公開番号（公開出願番号）：特開平3-026454
特許番号：特許第2650422号
出願日： 1989年06月20日
公開日（公表日）： 1991年02月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回転駆動される多軸研削盤(2)と、複数枚のウェーハ(3)が支持され、かつ該ウェーハ(3)の夫々が移動しながら対向する前記多軸研削盤(2)によって順次研削されるように、回転駆動される保持盤(4)と、前記ウェーハ(3)の研削面に対向して設けられた表面あらさ測定手段(5)とを有し、前記保持盤(4)の回転速度が、前記表面あらさ測定手段(5)によって制御されることを特徴とするウェーハ研削装置。

IPC (5件)：

B24B 7/20 , B24B 7/00 , B24B 37/04 , B24B 47/10 , H01L 21/304 331

FI (5件)：

B24B 7/20 , B24B 7/00 A , B24B 37/04 B , B24B 47/10 , H01L 21/304 331

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