ダイシング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：亀谷美明 , 金本哲男 , 萩原康司 , 井上誠一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-119037
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313755
特許番号：特許第4646431号
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】高速回転して被加工物を切断するブレードと,前記ブレードの少なくとも一側面に切削水を供給する側面ノズルとを備えたダイシング装置において, 前記側面ノズルは,加工点付近から前記ブレードの回転方向側に延びる直線部と,前記加工点付近から前記ブレードの回転方向に逆らう方向に前記ブレードの円弧に沿って延長形成された円弧部とを備えており, 前記円弧部には前記ブレードの側面に切削水を供給する一または二以上の孔またはスリットが前記ブレードの外周側面に対して隣接して形成され,前記直線部には開口が形成されていないことを特徴とする,ダイシング装置。

IPC (2件)：