特許
J-GLOBAL ID：201103069043549158
縦型炉および治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
根本 進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-180242
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007037
特許番号：特許第4433428号
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】下端開口を有する外部容器と、
下端開口を有する内部容器とを備え、
その外部容器内に内部容器が配置され、
その外部容器の内周と内部容器の外周との間が、その内部容器内の熱処理空間に下端側から導入される処理ガスの排出通路とされている縦型炉において、
その外部容器の内周に張出部が、この張出部の内方を前記内部容器が上下移動可能に一体的に設けられ、
その外部容器内において、その張出部の上方に間隙を介して前記内部容器を配置することが可能とされ、
前記外部容器の下端開口を介して前記間隙に出し入れ可能な非金属製の環状仕切り部材が、前記張出部に載置され、
その環状仕切り部材に前記内部容器が載置されることを特徴とする縦型炉。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/22 511 S
, H01L 21/22 511 G
