圧電振動子及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335368
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142976
特許番号：特許第3998948号
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基部と、表面に形成された重りを有する圧電振動片を内部に有する気密容器の内壁に、前記気密容器の内部のガスをゲッタリングするための金属膜を、前記圧電振動片の長さ方向または幅方向に前記重りと離間して有する圧電振動子。

IPC (3件)：