特許
J-GLOBAL ID：201103069159692330
静電アクチュエータおよびインクジェットヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-333938
公開番号（公開出願番号）：特開2002-142468
特許番号：特許第4045734号
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】第1の基板と、この第1の基板に重ね合わされた第2の基板と、前記第1の基板に形成された第1の電極として機能する複数の振動板部分と、前記第2の基板における各振動板部分に対峙している表面部分に形成された電極配置用溝部分と、この電極配置用溝部分に連続して前記第2の基板の表面部分に形成された電極引き出し用溝部分と、この電極引き出し用溝部分における前記第1および第2の基板の合わせ面部分から外部に連通している外部連通口と、各電極配置用溝部分の底面に形成された第2の電極と、この第2の電極に連続して前記電極引き出し用溝部分の底面に形成された電極配線部分と、この電極配線部分に連続して前記外部連通口から外部に引き出されている電極接続部分と、前記電極引き出し用溝部分に充填した封止剤とを有し、
少なくとも隣接する2本の前記電極引き出し用溝部分は、少なくともそれらの一部分が共通溝部分として形成されており、当該共通溝部分の底面には、隣接する2本の前記電極配線部分におけるそれらの一部分が並列配置されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N 1/00 ( 200 6.01)
, B41J 2/045 ( 200 6.01)
, B41J 2/055 ( 200 6.01)
H02N 1/00
, B41J 3/04 103 A
