特許
J-GLOBAL ID:201103069311907747

塗布装置及び塗布方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-258092
公開番号(公開出願番号):特開2011-101860
出願日: 2009年11月11日
公開日(公表日): 2011年05月26日
要約:
【課題】塗布膜の終端部分における膜厚の落ち込みを防止することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、前記塗布ユニットに塗布液を供給し、塗布ユニットから塗布液を吐出させる塗布液ポンプと、前記塗布液ポンプを駆動制御することにより前記塗布ユニットから吐出される塗布液の吐出量を制御する制御装置とを有しており、前記制御装置は、前記塗布ユニットから、塗布膜を一定厚さに形成する一定膜厚形成吐出量の塗布液を吐出させるとともに、塗布液ポンプを停止させる前に一定膜厚形成吐出量よりも多量の膜厚補正吐出量の塗布液を吐出させるように前記塗布液ポンプを駆動制御する。【選択図】図7
請求項(抜粋):
基板を載置するステージと、 前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、 前記塗布ユニットに塗布液を供給し、塗布ユニットから塗布液を吐出させる塗布液ポンプと、 前記塗布液ポンプを駆動制御することにより前記塗布ユニットから吐出される塗布液の吐出量を制御する制御装置と、 を有しており、 前記制御装置は、前記塗布ユニットから、塗布膜を一定厚さに形成する一定膜厚形成吐出量の塗布液を吐出させるとともに、塗布液ポンプを停止させる前に一定膜厚形成吐出量よりも多量の膜厚補正吐出量の塗布液を吐出させるように前記塗布液ポンプを駆動制御することを特徴とする塗布装置。
IPC (4件):
B05C 11/10 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00 ,  B05C 5/02
FI (4件):
B05C11/10 ,  B05D1/26 Z ,  B05D3/00 B ,  B05C5/02
Fターム (21件):
4D075AC06 ,  4D075AC84 ,  4D075AC86 ,  4D075AC88 ,  4D075AC95 ,  4D075DA06 ,  4D075DC24 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041CA02 ,  4F041CA22 ,  4F042AA06 ,  4F042BA04 ,  4F042BA07 ,  4F042BA08 ,  4F042BA12 ,  4F042BA25 ,  4F042CB02 ,  4F042CB07 ,  4F042DF09 ,  4F042DF34

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