特許

J-GLOBAL ID：201103069400875786

金属化ポリイミドフィルムおよびその製造方法

発明者： 相田 正之
出願人/特許権者： 三菱伸銅株式会社
代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-101077
公開番号（公開出願番号）：特開2001-277424
特許番号：特許第4350263号
出願日： 2000年04月03日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】表面に表面粗化処理が施されることによりその表面のRa値が2〜10nmとされたポリイミドフィルムと、前記表面粗化処理が施された表面にモリブデン、ケイ素、および一酸化ケイ素から選択される1種または2種が蒸着されてなりその平均厚さが前記Ra値の5〜50%である中間層と、この中間層上に形成された平均厚さ1000Å以上の金属層とを具備することを特徴とする金属化ポリイミドフィルム。

IPC (6件)：

B32B 15/088 ( 200 6.01) ,  C23C 14/02 ( 200 6.01) ,  C23C 14/06 ( 200 6.01) ,  C23C 14/20 ( 200 6.01) ,  H05K 1/03 ( 200 6.01) ,  H05K 3/38 ( 200 6.01)

FI (6件)：

B32B 15/08 R ,  C23C 14/02 A ,  C23C 14/06 N ,  C23C 14/20 A ,  H05K 1/03 610 N ,  H05K 3/38 A