特許

J-GLOBAL ID：201103069515956283

光学検査装置のアライメント方法およびその機構

発明者： 佐藤 篤 ,  渋谷 潔 ,  蒲原 清隆 ,  山口 明彦
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-357238
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174217
特許番号：特許第3702733号
出願日： 1999年12月16日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 第1の光学部材の基準平面を反射した波面と、第2の光学部材の参照球面を反射した波面とにより、前記参照球面の頂点を中心とする円形状の第1の干渉縞を形成し、前記第1の干渉縞の中心位置を確定するステップと、前記第1の光学部材と前記第2の光学部材の間に調整可能に支持した被検査レンズを透過した波面と、前記基準平面を反射した前記波面とにより形成される第2の干渉縞の縞数を最少とするように前記被検査レンズの位置および姿勢を調整設定するステップを含む光学検査装置のアライメント方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/26

FI (3件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/26 G