特許
J-GLOBAL ID：201103069540650210
基板分割装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 城之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080745
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267719
特許番号：特許第3586613号
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基台と、この基台上に、一方向に移動可能に設けられたベースと、基板が装着され、この基板を前記ベース上に固定する基板支持具と、前記基台に装着され、前記ベース上に固定された基板の分割を行う切断機構と、前記基台に設けられ、前記ベースの移動を行うとともに、前記切断機構を前記ベースの移動方向と直交する2次元方向に移動させる駆動機構とを備えた基板分割装置であって、前記ベースが、前記基台と対向させられたベースプレートと、このベースプレートの両側部に立設され、前記基板支持具が載置される一対のサイドプレートとによって構成され、これらのサイドプレートと前記基板支持具との間に、両者の相対位置を規制する位置決め機構が設けられていることを特徴とする基板分割装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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