特許

J-GLOBAL ID：201103069550770427

軸上色収差光学系および三次元形状測定装置

発明者： 勝沼 淳
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-236826
公開番号（公開出願番号）：特開2011-085432
出願日： 2009年10月14日
公開日（公表日）： 2011年04月28日
要約：

【課題】 波長変動に応じた焦点位置変動に伴う非点収差変動を抑制しどの波長においても解像力が維持できる軸上色収差光学系を提供することを目的とする。【解決手段】 軸上色収差光学系(10)は、被測定物(S)の三次元形状を測定する三次元形状測定装置(100)に使用される軸上色収差光学系(10)である。そして、軸上色収差を発生させる光学素子(101)と、光学素子(101)の軸上色収差を発生させる面上に配置された開口絞り(102)と、開口絞り(102)と被測定物(S)との間に配置される正のパワーを有する正パワー光学系(103)とを備える。正パワー光学系は、以下の条件を満たす。f・θ<h<f・tanθただし、h:正パワー光学系の像高、f:正パワー光学系の焦点距離、θ:回折光学素子への光束入射角度【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

被測定物の三次元形状を測定する三次元形状測定装置に使用される軸上色収差光学系であって、 軸上色収差を発生させる光学素子と、 前記光学素子の前記軸上色収差を発生させる面上に配置された開口絞りと、 前記開口絞りと前記被測定物との間に配置される正のパワーを有する正パワー光学系と、 を備え、 前記正パワー光学系は、以下の条件を満たす軸上色収差光学系。 f・θ<h<f・tanθ ただし、 h:前記正パワー光学系の像高 f:前記正パワー光学系の焦点距離 θ:前記回折光学素子への光束入射角度

IPC (2件)：

G01B 11/25 ,  G01B 11/245

FI (2件)：

G01B11/25 H ,  G01B11/245 H

Fターム (24件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD11 ,  2F065FF00 ,  2F065FF41 ,  2F065GG23 ,  2F065GG25 ,  2F065HH06 ,  2F065HH07 ,  2F065HH09 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065LL49 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07