特許
J-GLOBAL ID：201103069644327837
荷電粒子線装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-353949
公開番号（公開出願番号）：特開2003-157791
特許番号：特許第4088437号
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】陰極と、
当該陰極から放出される一次電子ビームを収束して試料上で走査する電子光学系と、
試料を少なくとも水平方向(X軸,Y軸),垂直方向(Z軸)、及び傾斜方向(T軸)に移動可能な試料ステージと、
当該一次電子ビームの走査によって試料から発生する電子を検出する検出手段とを備え、
当該検出手段によって検出された電子に基づいて、試料像を形成する走査電子顕微鏡において、
前記一次電子ビームの加速電圧、前記試料の傾斜角度、及び対物レンズと試料との間に配置される検出器、或いは対物レンズより陰極側に配置される検出器のいずれかを指定する観察条件指定手段と、
指定される加速電圧に対する使用可能なワーキングディスタンスの範囲と、試料の傾斜角度に対する使用可能なワーキングディスタンスの範囲と、試料と対物レンズとの間に検出器が挿入されているときと、挿入されていないときのワーキングディスタンスの範囲を記憶する記憶装置とを備え、
前記観察条件指定手段によって、対物レンズと試料との間に配置される検出器が指定されたときには、前記観察条件指定手段によって指定された観察条件すべてにおいて使用可能なワーキングディスタンスの範囲であって、そのアンド条件がとれるワーキングディスタンスの範囲のうち、最小のワーキングディスタンスとなる前記試料ステージのZ軸方向の位置に、当該試料ステージを移動させ、
前記観察条件指定手段によって、対物レンズと陰極間に配置される検出器が指定されたときには、前記対物レンズと試料との間に配置される検出器が挿入されているかを判断し、挿入されていないときには、前記観察条件指定手段によって指定された観察条件すべてにおいて使用可能なワーキングディスタンスの範囲であって、そのアンド条件が取れるワーキングディスタンスの範囲のうち、最小のワーキングディスタンスとなる前記試料ステージのZ軸方向の位置に、当該試料ステージを移動させることを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/28 ( 200 6.01)
, H01J 37/20 ( 200 6.01)
, H01J 37/244 ( 200 6.01)
H01J 37/28 B
, H01J 37/20 D
, H01J 37/244
