特許
J-GLOBAL ID：201103069650648165
ポジ型感光性組成物及びレジストパターンの形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇井 正一 (外4名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-078688
公開番号（公開出願番号）：特開平2-010348
出願日： 1989年03月31日
公開日（公表日）： 1990年01月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】1,2-ナフトキノンジアジド光増感剤と結合剤として有効な量のノボラック樹脂との混合物を含むポジ型感光性組成物であって、A.前記光増感剤が、2,3,4-トリヒドロキシベンゾフェノン-1,2-ナフトキノン-2-ジアゾ-4-スルホン酸トリエステル、2,3,4-トリヒドロキシベンゾフェノン-1,2-ナフトキノン-2-ジアゾ-4-スルホン酸ジエステル、及び2,3,4-トリヒドロキシベンゾフェノン-1,2-ナフトキノン-2-ジアゾ-4-スルホン酸モノエステルの混合物を次のような量:前記モノ-、ジ-及びトリエステルの混合物の全重量を基準にして50〜75重量%のトリエステル、及びバランス量のモノエステル及びジエステル(ここで、モノエステルとジエステルの重量比は約1:2である)で含み、そしてB.前記ノボラック樹脂が、a.(a)脂肪族アルデヒド、芳香族アルデヒド又はその混合物を、(b)フェノール成分であって、含まれるp-クレゾール及びm-クレゾールの全重量を基準にして最低60重量%のp-クレゾールを含有しかつ前記ノボラック樹脂を水性アルカリ溶液に可溶にならしめるのに十分な量のm-クレゾールを含有するp-クレゾール/m-クレゾール混合物を含み、但しo-クレゾールを本質的に含まないフェノール成分と縮合させることによって調製した樹脂、及びb.(a)フェノール、フェノール誘導体又はその混合物と(b)ホルムアルデヒド又はホルムアルデヒドプレカーサ及び芳香族アルデヒドの混合物の縮合生成物であるノボラック樹脂、からなる群から選ばれた樹脂を含む、ポジ型感光性組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/022
, G03F 7/023 511
, H01L 21/027
