特許
J-GLOBAL ID：201103069722761166
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-257076
公開番号（公開出願番号）：特開平3-120712
特許番号：特許第2743199号
出願日： 1989年10月03日
公開日（公表日）： 1991年05月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】SOR装置と、該SOR装置からのビームを拡大するミラーを有するミラーユニットと、露光装置フレームを含む露光装置本体とが独立に床に設置された露光装置であって、前記ミラーで拡大されたビームの所定方向の一次元の強度むらを、対応した露光時間分布を設定することにより、露光領域内での露光量分布の均一化を図る露光量制御手段と、該露光量制御手段の、前記露光装置フレームに対する前記所定方向の位置基準を移動する位置基準制御手段とを備え、該位置基準制御手段は、前記床に対する前記露光装置本体の姿勢変動を検知する姿勢検知手段を有し、該検知信号に応じて前記位置基準を調整するものであることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 531 A
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 502 G
