特許
J-GLOBAL ID：201103069836391326
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335984
公開番号（公開出願番号）：特開2002-140997
特許番号：特許第3374841号
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸としたとき、プラズマ生成容器内で生成したプラズマからZ軸に沿ってイオンビームを引き出すイオン源であって、プラズマ生成容器内のY軸に沿う方向の一方側と他方側とに、電子を放出するフィラメントと当該電子を反射する反射電極とを相対向させて配置しており、当該フィラメントには、その加熱用に、X軸に沿って電位差が生じる方向に直流のフィラメント電圧が印加され、かつ前記プラズマ生成容器内には、その外部に設けられた電磁石から、Y軸に沿って磁界が印加される構成であり、しかも当該電磁石が、X軸およびY軸を含む平面に沿って配置されたC形のコアと、当該コアのヨーク部に巻かれたコイルとを有している構成のイオン源において、前記フィラメントに、前記電磁石のコイル側を負極側にして前記フィラメント電圧を印加するように構成したことを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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