特許
J-GLOBAL ID:201103069858220738

集積回路上の端面を調製する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡部 正夫 (外10名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-020946
公開番号(公開出願番号):特開平11-317384
特許番号:特許第3347085号
出願日: 1999年01月29日
公開日(公表日): 1999年11月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】 他の回路メンバに接続するために光集積回路チップの端面を調製する方法であって、該チップは端部を有しており、該方法は、該チップの該端部に脚を付着させるステップと、該チップを切削用フィクスチャに取り付けるステップと、傾斜角付きの回転している16°乃至24°の含入角度を有するブレードによってそれらを切削することによって、該チップの該端面及び対応する脚に8°乃至12°の角度を付与するステップと、該チップを該切削用フィクスチャから取り除くステップとを含む方法。
IPC (1件):
H01L 21/301
FI (1件):
H01L 21/78 F
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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