特許

J-GLOBAL ID：201103069935101135

フィルム剥離装置

発明者： 綾部 利明 ,  三好 基之 ,  石田 剛 ,  片田 一哉
出願人/特許権者： 株式会社 日立インダストリイズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-375136
公開番号（公開出願番号）：特開2003-176075
特許番号：特許第3663379号
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2003年06月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板の上に貼りつけられたホトレジストを保護するフィルムを剥離する剥離手段と該剥離手段で該基板から剥離したフィルムをフィルム収納箱上まで搬送して該フィルム収納箱に落下させるフィルム搬送手段を有するフィルム剥離装置において、 フィルムが該フィルム搬送手段から該フィルム収納箱に落下する箇所の両側にクランプ板とガイドローラの駆動手段を設け、該フィルム搬送手段から落下するフィルムの先端部が該ガイドローラの高さに達したことを検出する先端検出手段を設けてあり、該駆動手段は該先端検出手段が該フィルム搬送手段から落下するフィルムの先端部を検出すると該ガイドローラを該クランプ板に向けて前進させて該フィルム搬送手段から落下するフィルムを該クランプ板と該ガイドローラとで挟持させてから該ガイドローラを該クランプ板から後退させるようになされており、それによって該フィルム搬送手段から落下するフィルムは該クランプ板と該ガイドローラとで挟持された後側が該フィルム搬送手段から落下を続けることにより該ガイドローラに懸架された形となり、該ガイドローラが該クランプ板から後退するときに該フィルムはその後端側から該フィルム収納箱に落下することを特徴とするフィルム剥離装置。

IPC (1件)：

B65H 31/00

FI (1件)：

B65H 31/00 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 排出紙収納トレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-348802   出願人：株式会社リコー