特許
J-GLOBAL ID:201103069935924042

光記録媒体の反射膜形成用銀合金スパッタリングターゲット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-358852
公開番号(公開出願番号):特開2003-160859
特許番号:特許第3915114号
出願日: 2001年11月26日
公開日(公表日): 2003年06月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】InまたはInおよびSnを合計で0.5〜15質量%を含み、さらにCr,Co,Niの内の1種または2種以上を合計で0.01〜5質量%を含み、残部がAgである組成の銀合金からなることを特徴とする光記録媒体の反射膜形成用銀合金スパッタリングターゲット。
IPC (4件):
C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  C22C 5/06 ( 200 6.01) ,  G11B 7/258 ( 200 6.01) ,  G11B 7/26 ( 200 6.01)
FI (4件):
C23C 14/34 A ,  C22C 5/06 Z ,  G11B 7/24 538 E ,  G11B 7/26 531
引用特許:
審査官引用 (5件)
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