誘電体キャパシタ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小栗昌平 , 本多弘徳 , 市川利光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-273692
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134710
特許番号：特許第3954339号
出願日： 2001年09月10日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板と、前記基板に形成された絶縁層と、前記絶縁層の形成された基板上に形成された柱状多結晶からなるイリジウム層の下部電極と、前記下部電極上に形成された酸化物誘電体層と、前記酸化物誘電体層上に形成された上部電極とを備え、前記柱状多結晶からなるイリジウム層の表面には、前記イリジウム層を下部電極として形成した後に形成された酸化イリジウムを備えた、誘電体キャパシタ。

IPC (4件)：

H01L 21/8246 ( 200 6.01) , H01L 27/105 ( 200 6.01) , H01L 21/822 ( 200 6.01) , H01L 27/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 27/10 444 B , H01L 27/04 C

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平3-257858
特開平3-257858
特開平3-253065

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