特許
J-GLOBAL ID：201103070114799078
光学装置の特性を決定する方法及び検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 公久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-349780
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243585
特許番号：特許第3998460号
出願日： 2001年11月15日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 テストを受ける光学装置の特性を決定する方法において、
入射光束を第1の光束と第2の光束に分割する工程と、
所定の偏光を備えた前記第1の光束を前記テストを受ける光学装置に接続する工程と、
前記第2の光束を前記第1の光束とは異なる路に進行させる工程と、
前記光学装置からの前記第1の光束と前記第2の光束を重ね合わせ、重ね合わせられた光束における前記第1の光束と前記第2の光束間に干渉を行わせる工程と、
前記重ね合わせられた光束を偏光に依存するようにして第3の光束と第4の光束に分割する工程と、
前記入射光束の周波数を所定の周波数範囲にわたって同調させるとき、周波数の関数として前記第3の光束と前記第4の光束のパワーを検出する工程と、
検出されたパワーの周波数依存性から、前記テストを受ける光学装置の特性に係る複数の要素を取り出す工程と、
前記所定の偏光に関して前記第1の光束の偏光を変化させ、変化させられた偏光について、上記各工程を再度行う工程と、
前記複数の要素から前記テストを受ける光学装置の特性を決定する工程とを有することを特徴とする方法。
IPC (2件)：
G01M 11/00 ( 200 6.01)
, G01M 11/02 ( 200 6.01)
G01M 11/00 T
, G01M 11/02 K
