特許

J-GLOBAL ID：201103070173746115

サセプターのチャンバーへの取付構造およびサセプターのチャンバーへの支持部材

発明者： 山口 和明 ,  後藤 義信
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 興作
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-379950
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184844
特許番号：特許第4282221号
出願日： 2000年12月14日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理物を加熱するためのサセプターと、このサセプターの接合面に接合されており、内側空間が設けられている支持部材と、この支持部材に接合されている開口が設けられたチャンバーとを備えており、前記チャンバーの前記開口と前記支持部材の前記内側空間とが連通しており、前記支持部材の前記内側空間が前記チャンバーの内部空間に対して気密に封止されている取付構造であって、 前記支持部材の横断面の外側輪郭が略真円形をなしており、前記支持部材が肉厚部分と肉薄部分とを有しており、前記支持部材の前記肉厚部分の中に前記サセプター側の端面から前記チャンバー側の端面へと向かって延びる貫通孔が設けられていることを特徴とする、取付構造。

IPC (4件)：

H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  C23C 14/50 ( 200 6.01) ,  C23C 16/46 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/68 N ,  C23C 14/50 E ,  C23C 16/46 ,  H01L 21/205