絶縁用部材及びそれを用いた電気部品

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鎌田文二 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-340956
公開番号（公開出願番号）：特開平3-201322
特許番号：特許第2597018号
出願日： 1989年12月26日
公開日（公表日）： 1991年09月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基材と絶縁層との間に中間層を介在してなる絶縁用部材において、上記の基材がMo、Nb、Ta、Wから選ばれた一つの材料から成り、上記の絶縁層が厚さ1μm以上、500μm以下のダイヤモンド層から成り、上記中間層が上記基材側の第1の中間層と上記絶縁層側の第2中間層により形成され、上記第1中間層がtiC、第2中間層がSiCから成ることを特徴とする絶縁用部材。

IPC (1件)：