特許

J-GLOBAL ID：201103070485641159

圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法

発明者： 三上 賢
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-085809
公開番号（公開出願番号）：特開2011-217301
出願日： 2010年04月02日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：

【課題】圧電振動片を所望する姿勢で再現性よく安定的に保持することができる圧電デバイスの提供。【解決手段】水晶振動子1は、基部11と基部11から延びる一対の振動腕12と基部11に接続された支持部13とを有する水晶振動片10と、水晶振動片10を収容するパッケージ20と、水晶振動片10とパッケージ20とを接合する第1の接着剤30及び第2の接着剤31と、を備え、支持部13が、パッケージ20に接合される接合部13b,13c,13dを有し、各接合部13b,13c,13dが、互いに離れた位置に設けられると共に、振動腕12の延びる方向において、接合部13b,13cが、接合部13dより振動腕12寄りに設けられ、振動腕12寄りの接合部13b,13cを接合する第1の接着剤30と、接合部13dを接合する第2の接着剤31とにおいて、第2の接着剤31の方が硬化収縮率が大きいことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基部と前記基部から延びる少なくとも1本の振動腕と前記基部に接続された支持部とを有する圧電振動片と、 前記圧電振動片を収容するパッケージと、 前記圧電振動片と前記パッケージとを接合する第1の接着剤及び第2の接着剤と、を備え、 前記支持部は、前記パッケージに接合される複数の接合部を有し、 前記複数の接合部は、互いに離れた位置に設けられると共に、前記振動腕の延びる方向において、少なくとも1つの前記接合部が、他の前記接合部より前記振動腕寄りに設けられ、 前記振動腕寄りの前記接合部を接合する前記第1の接着剤と、他の前記接合部を接合する前記第2の接着剤とにおいて、前記第2の接着剤の方が硬化収縮率が大きいことを特徴とする圧電デバイス。

IPC (8件)：

H03H 9/10 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187

FI (11件)：

H03H9/10 ,  H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H03B5/32 H ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z

Fターム (24件)：

5J079AA04 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA07 ,  5J079HA11 ,  5J079HA22 ,  5J079HA30 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK03 ,  5J108MM04