特許

J-GLOBAL ID：201103070649039137

圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置

発明者： 中山 雅夫
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-190754
公開番号（公開出願番号）：特開2011-044528
出願日： 2009年08月20日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：

【課題】信頼性の高い圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置を提供する。【解決手段】圧電素子100は、基板10と、基板10の上方に形成された下部電極20と、下部電極20の側面34および上面32を覆って形成された圧電体層30と、圧電体層30の側面34および上面32を覆って形成された上部電極40と、を含み、上部電極40は、圧電体層30の上面32において、第1領域40Aと、第2領域40Bと、を有し、第1領域40Aは、平面視において下部電極20と重なる領域の少なくとも一部を含み、第2領域40Bは、第1領域40A以外の領域であり、第1領域40Aは、第2領域40Bよりも厚みが小さい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板の上方に形成された下部電極と、 前記下部電極の側面および上面を覆って形成された圧電体層と、 前記圧電体層の側面および上面を覆って形成された上部電極と、 を含み、 前記上部電極は、前記圧電体層の上面において、第1領域と、第2領域と、を有し、 前記第1領域は、平面視において前記下部電極と重なる領域の少なくとも一部を含み、 前記第2領域は、前記第1領域以外の領域であり、 前記第1領域は、前記第2領域よりも厚みが小さい、圧電素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/24

FI (7件)：

H01L41/08 C ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 J

Fターム (7件)：

2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG60 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14