特許
J-GLOBAL ID：201103070741735077
カンチレバー製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-018431
公開番号（公開出願番号）：特開2011-158283
出願日： 2010年01月29日
公開日（公表日）： 2011年08月18日
要約：
【課題】より細くかつ耐久性の高い探針を備えるカンチレバーを製造することができるカンチレバー製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】板状の梁部と、梁部の一方の端部を支持する支持部と、梁部の支持部に支持されている側とは反対側の端部に配置された探針とで構成され、走査型プローブ顕微鏡に用いるカンチレバーの製造方法であって、試料からバルクを切り出すバルク切り出し工程と、バルクを梁部に接合させる接合工程と、バルクに収束イオンビームを照射し、探針の針部を作成する針部加工工程と、を有することで上記課題を解決する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状の梁部と、前記梁部の一方の端部を支持する支持部と、前記梁部の前記支持部に支持されている側とは反対側の端部に配置された探針とで構成され、走査型プローブ顕微鏡に用いるカンチレバーの製造方法であって、
試料からバルクを切り出すバルク切り出し工程と、
前記バルクを梁部に接合させる接合工程と、
前記バルクに収束イオンビームを照射し、探針の針部を作成する針部加工工程と、を有することを特徴とするカンチレバー製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N13/16 101J
, G01N13/10 111M
