特許
J-GLOBAL ID：201103070779932615
点欠陥検出装置及びその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
佐々木 宗治
, 小林 久夫
, 木村 三朗
, 大村 昇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-036660
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228050
特許番号：特許第3675279号
出願日： 2000年02月15日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】光変調装置と、前記光変調装置に表示された画像パターンを撮り込む画像撮り込み装置と、前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装置において、前記処理装置は、前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに含まれる、前記画像撮り込み装置のノイズを除去するノイズ除去機能と、前記ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データに対して、輝点欠陥強調用の空間フィルタ及び黒点欠陥強調用の空間フィルタを使用して畳み込み演算処理を行い、前記光変調装置の点欠陥部を強調する点欠陥強調機能と、前記点欠陥強調機能により光変調装置の点欠陥部が強調された画像データに基づいて、前記光変調装置上の点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する点欠陥検出機能とを含むことを特徴とする点欠陥検出装置。
IPC (5件)：
G01M 11/00
, G01N 21/88
, G02F 1/13
, G06T 1/00
, G09F 9/00
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 J
, G02F 1/13 101
, G06T 1/00 300
, G09F 9/00 352
