特許
J-GLOBAL ID:201103070825553128

電極板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木内 光春
公報種別:特許公告
出願番号(国際出願番号):特願平1-256875
公開番号(公開出願番号):特開平3-120381
出願日: 1989年09月30日
公開日(公表日): 1991年05月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】冷媒流路を挟んで上蓋とベースとに分割され、ベース側に導入部が接続された電極板において、前記上蓋のベースに対向する中央部に突起を設け、この上蓋の突起を、ベースを貫通して外部に露出させ、この外部に露出した突起の端部に前記導入部を接続したことを特徴とする電極板。
IPC (2件):
C23F 4/00 A 9352-4K ,  H01L 21/3065
FI (1件):
H01L 21/302 C

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