特許
J-GLOBAL ID：201103071062659511
エネルギー分散形X線検出器を備えた表面分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-192874
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021511
特許番号：特許第3790643号
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子線を試料表面に照射して発生する特性X線を検出して元素分析を行う表面分析装置において、電子線又は試料ステージを二次元的に走査して試料表面より発生する特性X線のX線強度を検出するエネルギー分散形X線検出器と、該エネルギー分散形X線検出器において検出したX線強度を記憶する手段と、前記エネルギー分散形X線検出器において1画素分のX線強度を計数する時間内における該X線検出器の不感時間を1画素毎に計時し、各画素のX線強度と対応させて二次元的に記憶する手段と、前記X線強度記憶手段に記憶されている各画素のX線強度に対して前記不感時間記憶手段に記憶されている対応する各画素の不感時間に基づいて、各画素のX線強度の不感時間による損失分を一斉に補正する手段と、該X線強度補正手段で補正された補正X線強度に基づいて試料表面の元素分布を表示する手段とを備えていることを特徴とする表面分析装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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