特許
J-GLOBAL ID：201103071079398924
弾性表面波素子
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-380577
公開番号（公開出願番号）：特開2002-185283
特許番号：特許第3445971号
出願日： 2000年12月14日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表面が圧電機能を有する基板上に、下層から、Tiからなる第1層、Al又はAl合金からなる第2層、金属間化合物層からなる第3層、Al又はAl合金からなる第4層の順に形成された4層構造の電極膜を有してなり、第3層が、融点1500°C以上の高融点金属とAlを主成分とする金属間化合物層であることを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
前のページに戻る
