特許

J-GLOBAL ID：201103071108973399

キャップ一体型ホログラム光学素子、ホログラムレーザ装置および製造方法

発明者： 岡田 豊
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-326875
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131037
特許番号：特許第3840398号
出願日： 2001年10月24日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1の基板両面に、両面で対をなす回折格子を複数形成するホログラム基板形成工程と、 前記回折格子に対応するように複数の貫通孔を有する第2の基板を形成するキャップ基板形成工程と、 前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り合わせて、貼り合わせ基板を形成する貼り合わせ基板形成工程と、 前記貼り合わせ基板をダイシングして、複数のキャップ一体型ホログラム光学素子に分割する分割工程とを含むことを特徴とするキャップ一体型ホログラム光学素子の製造方法。

IPC (4件)：

G02B 5/32 ( 200 6.01) ,  G02B 5/18 ( 200 6.01) ,  G11B 7/22 ( 200 6.01) ,  H01S 5/022 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G02B 5/32 ,  G02B 5/18 ,  G11B 7/22 ,  H01S 5/022