特許
J-GLOBAL ID：201103071151692557
歪測定器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝倉 勝三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-269732
公開番号（公開出願番号）：特開平3-131709
特許番号：特許第2754791号
出願日： 1989年10月17日
公開日（公表日）： 1991年06月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】半導体レーザから出光したビームの反射光を受光して測定面までの距離を測定するセンサが測定面上を所定のピッチPで平行に走査し、X軸及びY軸の両方向に等ピッチPの格子状に配置された測定点での測定データを処理して測定面の歪を検出する歪測定器において、測定基準面に対して垂直に支持された基準センサと、該基準センサを中心として走査方向の前後及び左右に配設され、前記基準センサと同じ測定点に向けて取付角度αで支持された4個の傾斜面用センサとで成るセンサユニットを一体に走査せしめ、格子状に配置された各測定点で前記センサユニットの5個のセンサが順次測定して得られた測定データを分析し、測定面の傾斜に応じて選択したセンサの測定値を有意データとして採用したことを特徴とする歪測定器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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