特許

J-GLOBAL ID：201103071157040071

針状体の製造方法並びに針状体および針状体保持シート

発明者： 馬場 昭好
出願人/特許権者： 国立大学法人九州工業大学 ,  ニチバン株式会社
代理人 (2件)： 加藤 久 ,  久保山 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-237702
公開番号（公開出願番号）：特開2011-083387
出願日： 2009年10月14日
公開日（公表日）： 2011年04月28日
要約：

【課題】患部に直接薬剤を打ち込む治療を行うための生体内適合性針状体を再現性良く高精度に製造する方法を提供する。【解決手段】 複数のエッチング工程によって形成したマスターモールドを反転転写して形成したマスターモールドの針状体の形状を反転転写した微細孔21aを備えた針状体成型用モールド21に溶融した生体内適合性材料を充填する。生体内適合性材料が固化した後、針状体成型用モールド21取り外すことによって、先端に向かって細径化したテーパ状をなす先端部と該先端部に連なる長手方向にわたって同一径、あるいは径が小さくなる支柱部を有する生体溶解性針状体22bを製造する。 マスターモールドのエッチングにおいて、ボッシュプロセスによって任意の微細形状の支柱部を形成し、酸化シリコン膜の形成の除去を繰り返しによって、先端部の鋭角化を行うことができる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

下記工程を有することを特徴とする、生体内適合性針状体の製造方法。 (1)シリコンウェハの所定の位置にエッチングマスクを形成し、前記マスクを設けた状態で、プラズマエッチングと、プラズマデポジションによる保護膜形成とを交互に繰り返し行うボッシュプロセスによって、先端に向かって細径化したテーパ状をなす先端部と、長手方向にわたって同一径、あるいは径が小さくなる該先端部に連なる支柱部を有するシリコン製針状体とを形成する第1のエッチング工程と、 前記マスクを除去し、前記先端部をエッチング液および/または反応性ラジカルによってエッチングし、さらに熱酸化による酸化シリコン膜の形成と、フッ酸水溶液による酸化シリコン膜の除去を繰り返し行うことによって、針状体を形成する第2のエッチング工程と、 を含むシリコン基端部に設けられた複数のシリコン製針状体からなるマスターモールドを製造する工程 (2)前記マスターモールドを鋳型とし、前記マスターモールドの針状体の形状を反転転写した微細孔を備えた、可撓性を有する樹脂からなる針状体成型用モールドを形成する工程 (3)前記針状体成型用モールドに、生体内適合性材料を充填し、該材料を前記微細孔の形状に成形したのちに離型する工程

IPC (4件)：

A61M 37/00 ,  B81C 99/00 ,  B81B 1/00 ,  B29C 33/40

FI (4件)：

A61M37/00 ,  B81C5/00 ,  B81B1/00 ,  B29C33/40

Fターム (41件)：

3C081AA01 ,  3C081AA17 ,  3C081BA01 ,  3C081BA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA26 ,  3C081CA37 ,  3C081DA10 ,  3C081DA46 ,  3C081EA39 ,  4C167AA75 ,  4C167BB06 ,  4C167BB12 ,  4C167BB24 ,  4C167BB39 ,  4C167BB40 ,  4C167BB42 ,  4C167BB45 ,  4C167CC02 ,  4C167EE08 ,  4C167FF10 ,  4C167GG02 ,  4C167GG16 ,  4C167GG26 ,  4C167GG42 ,  4F202AA24 ,  4F202AG14 ,  4F202AG22 ,  4F202AG23 ,  4F202AH63 ,  4F202AJ05 ,  4F202AK07 ,  4F202AM28 ,  4F202CA09 ,  4F202CA19 ,  4F202CA27 ,  4F202CA30 ,  4F202CD03 ,  4F202CD04 ,  4F202CD24