特許
J-GLOBAL ID：201103071158386729
光部品接合装置における姿勢制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-117704
公開番号（公開出願番号）：特開2001-305373
特許番号：特許第3527171号
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 接合する光部品の接続面同士の面合せを行った後に接合を行う光部品接合装置における姿勢制御装置であって、光部品を保持する光部品保持機構と、この光部品保持機構を揺動自在に支持する静圧球面軸受と、この静圧球面軸受に設けられ前記光部品保持機構に保持された光部品の中心延長上から外れた位置において前記光部品保持機構を面合せ力に対し揺動自在に支持する支持部材と、を備えてなることを特徴とする光部品接合装置における姿勢制御装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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