特許

J-GLOBAL ID：201103071171859792

FeーSiーC系超微粒子の製造法

発明者： 亀山 哲也 ,  坂中 健治 ,  角田 達朗 ,  本江 秋弘 ,  荒川 裕則 ,  福田 健三
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院物質工学工業技術研究所長
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-052295
公開番号（公開出願番号）：特開平2-232309
特許番号：特許第2545716号
出願日： 1989年03月04日
公開日（公表日）： 1990年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シラン、メタンおよび鉄カルボニルを、約4000°C〜10000°Cの超高温領域にある高周波熱プラズマ中で反応させた後、急冷することを特徴とするFe-Si-C系超微粒子の製造法。

IPC (2件)：

C01B 31/36 ,  B22F 9/30

FI (2件)：

C01B 31/36 Z ,  B22F 9/30 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-175718
  
• 特開昭60-239316