研削装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：新井一郎 , 田中秀晴
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340537
公開番号（公開出願番号）：特開2002-144226
特許番号：特許第4215942号
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】板状の被研削物を回転する研削作用面によって研削する砥石と、前記被研削物を回転自在に支持し、前記砥石に接近又は離脱する方向に移動可能な保持枠と、を有する研削装置において、前記被研削物の厚さを測定する測定装置が前記被研削物を挟むコンタクトを先端に設けたフインガーと、夫々の前記フインガーが装設される夫々の本体と、を有し、前記コンタクトが前記被研削物の厚さを測定する前記被研削物と接触する位置と、前記コンタクトが前記被研削物から退避して前記被研削物に重ならない位置とを、とる移動手段を介して前記保持枠に備えられたことを特徴とする研削装置。

IPC (3件)：