特許
J-GLOBAL ID:201103071468210540
耐摩耗被覆膜及びその形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 晴敏
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-190383
公開番号(公開出願番号):特開平2-080559
特許番号:特許第2941850号
出願日: 1989年07月20日
公開日(公表日): 1990年03月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】摩耗に対して保護されるべき領域において少くとも一つのエッジ部を有する工具その他の部品の平面に物理蒸着法若しくはプラズマ化学蒸着法により形成され、2種以上の金属元素を含む複数成分系の硬質化合物からなる被膜において、各エッジ部の表面領域における該被膜の組成は各エッジ部から離れた表面領域における該被膜の組成に比較して金属元素濃度が原子百分率で少くとも2%の差を有する事を特徴とする被膜。
IPC (3件):
C23C 14/06
, B23B 27/14
, C23C 16/30
FI (3件):
C23C 14/06 L
, B23B 27/14 A
, C23C 16/30
引用特許:
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