特許

J-GLOBAL ID：201103071544701000

表面弾性波音速評価法

発明者： 簡 春雲 ,  坪井 敦
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128311
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311657
特許番号：特許第4003373号
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 非圧電性かつ非導電性基板の上に1個の櫛形電極を形成し、前記櫛形電極を有する前記非圧電性非導電性基板の面を被測定の圧電性基板の表面に向き合わせ、前記非圧電性非導電性基板と前記被測定圧電性基板の間に非導電性の液体を介在させ、前記非圧電性非導電性基板およびその上に形成される櫛形電極と、前記被測定圧電性基板の表面を非接触状態で位置させ、前記櫛形電極の電気的反射特性から前記被測定圧電性基板の表面弾性波の音速を評価することを特徴とする表面弾性波音速評価法。

IPC (4件)：

G01H 5/00 ( 200 6.01) ,  G01R 29/22 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H03H 3/10 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01H 5/00 ,  G01R 29/22 Z ,  H01L 41/08 U ,  H03H 3/10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-210259
  
• 特開平2-210259
  
• 特開平4-240575