特許
J-GLOBAL ID:201103071564846390

めっき検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-082326
公開番号(公開出願番号):特開2011-214946
出願日: 2010年03月31日
公開日(公表日): 2011年10月27日
要約:
【課題】めっき製造工程におけるめっき品質を傾向管理することによって、安定した検査を行うめっき検査装置を提供する。【解決手段】板状金属製品に照明光を照射する照明手段と、板状金属製品を撮像して画像情報を得る撮像手段と、板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、搬送手段上に板状金属製品を1枚ずつ供給、排出する供給排出部と、めっき基準品の画像情報を処理して検査情報を得、検査情報と板状金属製品の画像情報を比較することによってめっき状態を判定して検査結果を得て、装置全体の動作制御を行う処理制御部と、板状金属製品の画像情報および検査結果と、めっき基準品の画像情報および検査情報とを記憶する記憶手段と、めっき基準品の画像情報を参照して、板状金属製品の検査結果および画像情報の傾向を比較するめっき状態管理手段と、を備えたことを特徴とするめっき検査装置。【選択図】図9
請求項(抜粋):
板状金属製品のめっき品質の欠陥を検査する検査装置であって 前記板状金属製品に照明光を照射する照明手段と、 前記照明手段によって照明された板状金属製品を撮像して画像情報を得る撮像手段と、 前記板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、 前記搬送手段上に、前記板状金属製品を1枚ずつ供給、排出する供給排出部と、 板状金属製品のうちのめっき基準品の画像情報を処理して検査情報を得、前記検査情報と前記板状金属製品の画像情報を比較することによって板状金属製品のめっき状態の良否を判定して検査結果を得て、かつ、装置全体の動作制御を行う処理制御部と、 前記板状金属製品の画像情報および検査結果と、めっき基準品の画像情報および検査情報と、を記憶する記憶手段と、 前記めっき基準品の画像情報を参照して、板状金属製品の検査結果および画像情報の傾向を比較するめっき状態管理手段と、 を備えたことを特徴とするめっき検査装置。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  H01L 23/50
FI (3件):
G01N21/88 Z ,  H01L23/50 A ,  H01L23/50 D
Fターム (15件):
2G051AA62 ,  2G051AB07 ,  2G051AB12 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA14 ,  2G051EB09 ,  2G051EC02 ,  2G051FA01 ,  5F067AA19
引用特許:
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る