特許

J-GLOBAL ID：201103071621459625

カップ式めっき装置

発明者： 榊 泰彦
出願人/特許権者： 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社
代理人 (2件)： 特許業務法人 田中・岡崎アンドアソシエイツ ,  田中 大輔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205234
公開番号（公開出願番号）：特開2001-032095
特許番号：特許第4060012号
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】めっき槽上部開口に載置したウェーハに対して、めっき槽内に設けられたアノードと、カソードに接続したウェーハとを通電してウェーハにめっきを行うようになっており、 且つアノードとウェーハとを、めっき槽内に設けられた隔膜により互いに隔離し、隔膜上方にウェーハ側隔離室を、隔膜下方にアノード側隔離室を各々形成し、 ウェーハ側隔離室へのめっき液の供給・排出をする主めっき液循環路と、アノード側隔離室へのめっき液の供給・排出をする補助めっき液循環路とを別々に備えているカップ式めっき装置において、 主めっき液循環路のめっき液を保有するための主めっき液貯槽と、補助めっき液循環路のめっき液を保有するための補助めっき液貯槽とが設けられ、主めっき液貯槽と補助めっき液貯槽とのそれぞれに保有されるめっき液を相互に送液できるような送液手段が設けられていることを特徴とするカップ式めっき装置。

IPC (4件)：

C25D 7/12 ( 200 6.01) ,  C25D 17/00 ( 200 6.01) ,  C25D 21/14 ( 200 6.01) ,  H01L 21/288 ( 200 6.01)

FI (6件)：

C25D 7/12 ,  C25D 17/00 C ,  C25D 17/00 H ,  C25D 21/14 H ,  C25D 21/14 Z ,  H01L 21/288 E